クラス100のクリーンルームを常に清潔な状態に保つために もし、クラス100の環境下で真空チャンバーを加熱する場合、その恐ろしさはご存知でしょう。ほんのわずかなほこりや有害なガスがあるだけで、ウェーハや光学コーティングがダメになってしまいます。本当にイライラしますよね。一般的な加熱素子では、安定し...

悪夢を止める：ヒーターが故障したときでもウェーハを清潔に保つ方法 高負荷の半導体製造プロセスにおいて、ランプが壊れることは単なる煩わしいトラブルではありません。それは大惨事です。もし真空チャンバー内で石英管が破裂すれば、単に部品が破損するだけでなく、ガラスの破片や有害なガスが至る所に飛び散ります。...