バイオセンサー製造用赤外線ランプ
機械自体を加熱するのではなく、センサーを加熱しましょう。
もしバイオセンサーを作ったことがある人なら、その苦労はよくわかるでしょう。基板にだけ熱を当てる必要があります。
しかし問題は、一般的な赤外線ランプでは熱があらゆる方向に散らばってしまうことです。狭い半導体チャンバー内では、無駄になったエネル...
ツインチューブ型ゴールドコーテッドランプ
なぜ、金メッキ処理が施されたツインチューブ型IRランプが、グリーン半導体技術にとって最適なのか
半導体業界では、鉛やVOCの使用を避けるよう努力しています。これは地球にとって良いことですが、その結果、硬化処理が難しくなります。そこで役立つのが、金メッキ処理が施されたツインチューブ型IRランプです。...
ウェーハ硬化ランプ用反射板
本当に重要な場所に、より多くの熱を与える
ウェーハを加熱する際には、無駄なエネルギーの消費を避けたいものです。簡単に言えば、サブストレートに当たるすべての赤外線エネルギーを有効利用し、機械の筐体や部屋全体が過度に温められることを防ぎたいのです。
多くの人はアルミニウムを使いますが、確かにアルミニウ...
洗浄用防水赤外線ランプ
クラス100のクリーンルームを本当に清潔な状態に保つために
クラス100の環境で作業を行うとき、最も避けたいのが、ヒーターから破片やガスが発生し、作業エリアに混入することです。それは大変な問題です。さらに、洗浄工程がある場合は、湿気の問題もあります。湿気は、真空環境や無菌環境にとって敵と言えます。...
半導体用ゴールドコーティングインフラレッドランプ
熱の無駄遣いをやめよう：なぜ金コーティングされたIRランプが効果的なのか
正直に言えば、半導体装置においてエネルギーを無駄にするのは、単なる悪い設計に他なりません。
一般的な赤外線ランプでは、エネルギーが360度の方向に散らばってしまいます。つまり、高価な電力の半分が無駄になり、ウェーハを加熱する...
認定済みの赤外線硬化ランプ製造業者
なぜ半導体製造工場は、従来のオーブンを捨てて赤外線による硬化処理を採用するのか？ 長い間、半導体製造工場では、大規模な対流式オーブンや多量の有害な化学物質を使って作業を行ってきました。しかし、状況は変わりつつあります。ますます多くの工場が赤外線による硬化処理を採用しています。その理由は何でしょうか...
炭素繊維赤外線ランプ工場
クラス100のクリーンルームでの汚染の心配はやめましょう。
もしあなたがクラス100（ISO 5）の環境を維持しているのであれば、その苦労はよくご存知でしょう。わずかな金属の破片や、加熱時に発生するガスだけで、作業していた製品が台無しになってしまいます。
ほとんどの一般的な加熱素子は、このような状...
UHP 超高純度 ヒーターランプ
なぜ半導体製造においてUHP赤外線ランプを採用するのか
正直に言えば、対流式のオーブンはもはや時代遅れに思えてきます。半導体の乾燥や硬化処理の分野では、Ultra High Purity（UHP）赤外線ランプへの移行が進んでいます。
これは単に「無鉛で環境に優しい」という基準を満たすためだけではあ...
ファブレーザー用石英ガラスシールド
電磁波加熱と熱風加熱：なぜ製造ラインが待ち時間を抱えるのか ほとんどの製造ラインでは、依然として熱風を使った加熱方式が採用されている。これはよく見られる光景です。問題は、その遅さです。空気は非常に悪い熱伝導体です。結果として、時間だけが過ぎていき、チャンバーが設定温度に達するのを待つしかありません...
バイオセンサー製造用赤外線ランプ
バイオセンサーの製造において、適切な熱を得ることは非常に重要です。化学結合を促進し、表面を活性化させるためには十分な熱が必要ですが、過度に熱を加えると基材が損傷してしまいます。つまり、微妙なバランスが求められるのです。
そのため、私たちは赤外線システムを利用しています。赤外線システムは非常に高速で...
IRランプ用アルミニウム反射板
可燃性化学物質の周辺でIRランプを安全に使用するために
化学洗浄エリアでIRランプを使用するとき、それはまさに火遊びのようなものです。揮発性の蒸気が漂っており、わずかな火花や少し過度に高温になった表面だけで、作業場が災害地帯に変わってしまう可能性があります。
私たちは、そうした事態を防ぐ方法を長い...
クリーンルーム用ベンチ用赤外線ランプ
高温環境下では、わずかな隙も許されません。
例えば、高負荷がかかるクリーンルームで作業を行っているとします。作業は急速に進行し、あらゆるものが活発に動いています。その時に赤外線ランプが故障してしまったらどうでしょう？
それは単なる作業の中断にとどまりません。これは深刻な汚染の危機です。もしランプが...
アリババのRTPランプ供給業者
0.1℃という高精度が求められる理由
ウェーハ製造工場では、熱管理は何としても正確に行わなければなりません。それは絶対的な基準です。だからこそ、私たちはAlibaba RTPランプを開発しました。これにより、温度を0.1℃という極めて狭い範囲内に保つことができます。このような精度の高さがあるからこ...
マットソンRTPランプの交換
ファブラインでは、ソフトベイクやハードベイクの際に設定値が不安定になると、工程が台無しになってしまいます。フォトレジストの特性が崩れ、CDコントロールも失われ、エッチングの選択性も乱れます。もしランプの性能が不十分だと、工程が終了する前にすでに熱的なバランスが崩れてしまいます。
重要なのは何か 私...
ニコンのステッパーランプの交換
リソグラフィーの工程において、ランプは単なる消耗品以上のものです。それは、各種の焼成処理において熱を安定させるための重要な要素であり、また、ウェーハの寸法を決定するフォトレジストのパターンを形成する上でも不可欠な存在です。ランプの出力が不安定になると、温度の均一性が失われ、露光範囲が狭まります。ま...
ファブヒーター用のセラミック製ランプホルダー
実際の製造現場においては、焼成の品質は、その過程を制御するヒーターの性能に依存します。わずか0.5度の偏差があっても、重要な寸法が変わってしまい、結果として多くの問題が生じます。当社のセラミック製ランプホルダーは、何サイクル繰り返しても安定した熱特性を保ちます。
内部で重要なのは何か 私たちは高純...
クォーツボート加熱ランプ製造工場
ファブ内では、ウェーハの乾燥やフォトレジストの加熱処理中に発生する熱変動に対して、警告音は鳴りません。その結果として、線幅のばらつきや接着不良、廃棄品が発生します。一方、石英製の加熱ランプは、必要な場所に赤外線エネルギーを届け、迅速に反応し、所定の温度範囲を維持します。
技術的に重要なのは、エネル...
マイクロ流体デバイス製造用ランプ
リソグラフィーの工程において、わずか0.5℃の温度変動でも、マイクロ流体チャネルの端がナノメートル単位で変位してしまいます。そして、その変位が原因で歩留まりが低下してしまいます。私たちは、このような温度変動を根本的に防ぐために、マイクロ流体デバイス製造用のランプを開発しました。これにより、最初のウ...
オゾンフリー赤外線ランプ
リソグラフィ工程では、露光前にフォトレジストのプロファイルが設定されます。ソフトベークまたはハードベーク中の0.5度の温度ドリフトは熱予算を狂わせ、クリティカルディメンションの制御に影響を与えます。当社のオゾンフリー赤外線ランプは、まさにそのドリフトを抑制し、プロセスが必要とする場所、すなわちウェ...