なぜ半導体製造においてUHP赤外線ランプを採用するのか 正直に言えば、対流式のオーブンはもはや時代遅れに思えてきます。半導体の乾燥や硬化処理の分野では、Ultra High Purity（UHP）赤外線ランプへの移行が進んでいます。 これは単に「無鉛で環境に優しい」という基準を満たすためだけではあ...

熱の本質を理解する：パワーと電圧について では、この高い天井のある工場用ラジエーターがどのようにして作られたのかを説明しましょう。これは単なる一般的なヒーターではありません。長距離にわたって効果的に暖かさを供給するために設計された、強力な加熱装置です。 2500W、400Vという仕様を選んだのには...

ファブの現場では、フォトレジストのベイク処理は単なる温めるだけの作業ではありません。それは、ウェーハごとに歩留まりを決定する重要な要素です。ソフトベイクやハードベイク時の温度が1℃変動するだけで、CD値が変わり、スカムが発生したり、粒子数が悪化したりします。私たちは、このような変動をなくすために、...