クラス100のクリーンルームを常に清潔な状態に保つために 半導体製造現場では、目に見えないほど微細なほこり一つで、大量のウェーハが台無しになってしまいます。これは本当に悪夢のような状況です。そのため、クラス100の環境で加熱を行う際には、普通のヒーターを使うわけにはいきません。なぜなら、そうしたヒ...

揮発性化学物質の近くで赤外線ヒーターを安全に使うために 半導体を清掃するときは、まるで火遊びをしているようなものです。周囲には可燃性の溶剤や爆発性の化学物質があふれています。そうした環境では、わずかな火花やヒーター部品の短絡は、単なる技術的なトラブルでは済みません。それは大災害につながります。 だ...

ガラスの破片がウェーハに当たるのを防ぐ：ランプが故障したときにウェーハをきれいに保つ方法 大量生産の半導体製造において、ランプが壊れるのは大変な問題です。停止時間だけでなく、散乱するガラスの破片やハロゲンガスも大きな問題となります。赤外線ランプが壊れると、石英の破片やハロゲンガスがウェーハに直接当...

熱の無駄遣いをやめよう：なぜ金コーティングされたIRランプが効果的なのか 正直に言えば、半導体装置においてエネルギーを無駄にするのは、単なる悪い設計に他なりません。 一般的な赤外線ランプでは、エネルギーが360度の方向に散らばってしまいます。つまり、高価な電力の半分が無駄になり、ウェーハを加熱する...

スマートファブのトロリーが過熱しないようにする方法 インダストリー4.0向けのスマートファブを構築しているなら、熱管理が以前とは全く異なる課題だと気づいているでしょう。従来の対流式加熱方式では、温度を上げるのに時間がかかりすぎます。また、装置が大きくて使いづらく、クリーンルーム内での使用には不向き...