ウェーハ加熱時の安全距離

ケース内部での加熱をやめよう：ウェーハを加熱するためのより良い方法 ウェーハを加熱するときは、エネルギーが直接ウェーハに当たることが重要です。機械の壁面にエネルギーが当たってはいけません。 問題は、一般的な赤外線ランプでは、熱が360度全方位に放出されてしまう点です。狭い半導体製造装置内では、これ...