クラス100のクリーンルームでの汚染の心配はやめましょう。
もしあなたがクラス100（ISO 5）の環境を維持しているのであれば、その苦労はよくご存知でしょう。わずかな金属の破片や、加熱時に発生するガスだけで、作業していた製品が台無しになってしまいます。
ほとんどの一般的な加熱素子は、このような状況に対応できません。最も清潔であるべき時に、コーティングが剥がれたり、筐体から粒子が漏れ出したりしてしまいます。本当にイライラしますよね。
そのため、私たちは高純度の合成石英や炭素繊維を使用しています。これなら問題ありません。
石英が重要な理由
私たちは高純度の融解シリカを使用しています。これにより、安定した性能が得られます。どんなに高温になっても、分解したり、有害な揮発性有機化合物を放出したりすることはありません。つまり、クリーンルームを乱すことがないのです。
内部では、炭素繊維要素を真空封入しています。しっかりと密封されているため、酸化物が外部に漏れ出ることはありません。結果として、清潔で安定した短波長赤外線が得られます。ウェハーにほこりが付着することもなく、予期せぬ問題も起こりません。
スピードと温度のバランス
これらの炭素繊維製のIRランプは非常に速いです。数秒以内に目標温度に到達できます。
しかし、注意点があります。純度を保つために、極端に高い表面温度で動作するため、筐体はその負荷に耐えられる必要があります。冷却ファンやヒートシンクが小さすぎると、その熱が周囲のセンサーに影響を与えてしまいます。これはトレードオフですが、適切な冷却設計を行えば簡単に対処できます。
設置について
サイズを小さくしています。これらは直接交換可能な設計になっているので、アップグレードする際に全体を再構築する必要はありません。
また、接着剤は一切使用していません。接着剤は汚染の原因になるため、機械的な密封方式を採用しています。接続部品を接続する際は、そのワット数に十分耐えられるかを確認してください。端子に炭素が付着するのは避けたいです。
最後に、24時間365日稼働する場合は、毎週一度、ランプの位置を確認してください。わずかな角度の変化でも、ワークピースにホットスポットができてしまいます。たとえ環境が完璧であっても、歪んだ部品は依然として不良品です。