本当に重要な場所に、より多くの熱を与える ウェーハを加熱する際には、無駄なエネルギーの消費を避けたいものです。簡単に言えば、サブストレートに当たるすべての赤外線エネルギーを有効利用し、機械の筐体や部屋全体が過度に温められることを防ぎたいのです。 多くの人はアルミニウムを使いますが、確かにアルミニウ...

機械全体を加熱するのではなく、対象となる部品だけを加熱しましょう。 一般的な赤外線ランプの問題点は、熱があらゆる方向に放射されることです。もし半導体製品のように狭い空間で作業している場合、これは大変な悩みです。そのエネルギーのほとんどは作業対象物に当たらず、機械の内壁に当たってしまいます。すぐに機...

可燃性化学物質の周辺でIRランプを安全に使用するために 化学洗浄エリアでIRランプを使用するとき、それはまさに火遊びのようなものです。揮発性の蒸気が漂っており、わずかな火花や少し過度に高温になった表面だけで、作業場が災害地帯に変わってしまう可能性があります。 私たちは、そうした事態を防ぐ方法を長い...