클래스 100급 청정실을 계속해서 깨끗하게 유지하는 방법
반도체 생산 공장에서는, 눈에 보이지도 않는 아주 작은 먼지 한 알만으로도 웨이퍼 전체가 망가질 수 있습니다. 이는 정말 심각한 문제입니다. 그래서 클래스 100급 환경에서 열을 가해야 할 때는 일반적인 가열 요소를 사용할 수 없습니다. 그런 요소들은 가스와 입자들을 다량으로 방출하기 때문입니다.
그래서 우리는 고순도의 석영 적외선 램프를 사용합니다.
석영이 중요한 이유
이러한 램프에는 합성 융합 실리카가 사용됩니다. 만약 저렴한 붕규산 유리를 사용한다면, 유리가 화학물질을 청정한 공기 속으로 방출하는 문제가 생깁니다. 석영 외피는 텅스텐 필라멘트와 할로겐 가스를 그 안에 가두어 주는 역할을 합니다. 가장 좋은 점은 복사열이 직접 목표물에 전달된다는 것입니다. 물리적인 접촉도 없고, 공기가 흐르는 것도 없으며, 먼지가 발생하는 것도 없습니다.
실제 환경에 맞는 설계
이러한 장비들의 공간은 항상 협소하기 때문에, 우리는 높은 전력 밀도에 집중합니다. 빠르게 열을 가할 수 있도록 해야 합니다. 적외선 에너지를 단파 대역에 유지함으로써, 열이 직접 기판에 전달됩니다. 그렇게 하면 챔버 내의 공기를 가열하는 데 시간이 낭비되지 않으며, 냉각 시스템도 과부하가 걸리지 않습니다.
또한, 연결선의 밀폐성에도 많은 신경을 씁니다. 아주 작은 틈만 있어도 오염물질이 들어올 수 있습니다. 우리는 융합된 유리를 사용하여 온도 변화에도 밀폐성이 유지되도록 합니다.
관리가 어려운 부분들
석영은 훌륭하지만, 깨지기 쉽습니다. 열에는 잘 견디지만, 충격이나 진동에는 약합니다. 팁을 하나 드리자면, 마운팅 브라켓을 너무 세게 조이지 마세요. 웨이퍼가 뜨거워질 때 웨이퍼가 팽창할 공간이 없으면, 웨이퍼가 부러질 수 있습니다. 반드시 적당한 간격을 남겨두어야 합니다.
또 한 가지, 이러한 램프는 너무 강력하기 때문에, 웨이퍼가 너무 가까이 있으면 유기물 코팅이 손상될 수 있습니다. 그러니 와트수에 따라 초점 거리를 반드시 확인해야 합니다.