클린룸 내 오븐에서 열이 낭비되는 것을 막으세요.
半導체 웨이퍼를 가열할 때는, 단 1와트라도 중요하다는 것을 알고 있을 것입니다. 문제는 일반적인 적외선 히터들이 에너지를 오븐 벽면으로 방출한다는 점입니다. 이로 인해 공정에 아무런 도움이 되지 않습니다.
우리는 더 나은 방법을 찾아냈습니다. 금으로 코팅된 반사체를 사용하여 적외선 에너지를 웨이퍼에 직접 전달합니다.
왜 금일까요?
화려함 때문이 아닙니다. 빛의 반사 방식 때문입니다. 금은 알루미늄이나 연마된 강철보다 장파 및 중파 적외선을 훨씬 더 잘 반사합니다. 우리는 반사체 표면에 얇은 금 층을 코팅하여, 그렇지 않으면 사라져버릴 빛을 포착합니다.
그 결과, 훨씬 더 높은 열유속이 생성됩니다. 웨이퍼가 목표 온도에 도달하는 시간도 줄어듭니다. 또한, 전력 공급 장치의 출력을 높일 필요도 없습니다.
문제점
이렇게 에너지를 집중시키면 엄청난 열 밀도가 발생합니다. 이는 가열 속도를 높이는 데는 유리하지만, 오차를 허용할 여지가 거의 없습니다. 만약 램프의 위치가 몇 밀리미터만큼 잘못되어도, 웨이퍼의 가장자리가 손상될 수 있습니다.
그래서 PID 제어기를 정확하게 조절해야 합니다. 반사체의 각도가 너무 크면 웨이퍼의 가장자리가 손상될 수 있습니다. 우리는 금 표면의 곡률을 세심하게 조절하여 열이 웨이퍼 전체에 고르게 분포하도록 합니다. 이는 균형을 맞추는 작업입니다.
클린룸에서의 활용
이러한 히터들은 실제 환경에서 사용하기 위해 만들어졌습니다. 우리는 고온에서도 기체나 입자가 방출되지 않는 재료를 사용합니다.
가장 좋은 점은, 금 코팅 덕분에 에너지 효율이 훨씬 높아져, 보다 낮은 와트수의 램프를 사용해도 동일한 결과를 얻을 수 있다는 것입니다. 이는 시설의 HVAC 시스템에 큰 도움이 됩니다. 단, 배선을 꼭 확인해야 합니다. 적외선 배열이 필요로 하는 전류를 충분히 처리할 수 있는지 확인해야 합니다. 그렇지 않으면 긴 케이블을 통해 전압 강하가 발생할 수 있습니다.