실제로 중요한 곳에 더 많은 열을 전달하기 웨이퍼를 가열할 때는 에너지를 낭비하고 싶지 않습니다. 그게 전부입니다. 적외선 에너지가 웨이퍼에만 전달되어야 하며, 기계의 몸체나 주변 공간까지 열이 전달되어 방 전체가 따뜻해지는 것을 막아야 합니다. 대부분의 사람들은 알...

웨이퍼를 가열할 때의 문제점 웨이퍼를 가열할 때는 에너지가 웨이퍼 자체에만 전달되어야 합니다. 기계의 벽면에 에너지가 쏠리면 안 됩니다. 문제는 일반적인 적외선 램프들은 열을 모든 방향으로 방출한다는 것입니다. 좁은 반도체 처리실에서는 이런 상황이 재앙을 초래할 수...

적외선을 이용한 MEMS 웨이퍼 건조: 왜 기존의 오븐보다 더 효과적인가? 현대적이고 스마트한 제조 공장을 구축하려면, 더 이상 구식 대류식 오븐에 의존할 수 없습니다. 그런 오븐들은 너무 느립니다. MEMS 센서 웨이퍼를 건조할 때는 단파 적외선 시스템을 사용합니다...

스마트 팩토리에서 효과적인 열 관리를 실현하기 위해 인더스트리 4.0을 위한 스마트 팩토리를 구축한다면, 이제는 기존의 열 처리 방식으로는 충분하지 않다는 것을 알고 있을 것입니다. 전통적인 히터들은 반응 속도가 느리고, 성능도 그다지 좋지 않습니다. 또한, 공정의...

웨이퍼를 기다리지 마세요: 왜 적외선이 강제 공기 순환 방식보다 우수한가요? 심층 처리를 위한 웨이퍼 가공 장비를 선택할 때, 사실은 에너지를 어떻게 전달할지 결정하는 것입니다. 대부분의 사람들은 강제 공기 순환 방식을 선호합니다. 이 방식이 표준이니까요. 하지만 문...

정밀한 적외선 가열: 왜 집중된 열이 웨이퍼 처리에 있어서 그토록 중요한가 웨이퍼 처리의 핵심은 바로 원하는 곳에만 열을 공급하는 것입니다. 다른 곳에는 열이 가지 않도록 하는 것이 중요합니다. 우리는 이러한 목적을 위해 적외선 가열 시스템을 설계합니다. 일반적인 광...

생산 라인에서는 시간이 언제인지는 중요하지 않습니다. 예열 과정에서 약간의 오차가 발생한다면, 그로 인해 납땜 결함이나 정렬 오류, 포토레지스트의 품질 저하가 발생할 수 있습니다. 따라서 웨이퍼를 예열할 때는 열적 한계를 반드시 고려해야 합니다. 즉, 열적 한계를 단...