UHP(초고순도) 히터 램프
왜 반도체 제조에 UHP 적외선을 사용하는가?
솔직히 말해서, 대류식 오븐들은 이제 구식이 되어가고 있습니다. 반도체 건조 및 경화 과정에서는 초고순도(UHP) 적외선 램프를 사용하는 추세가 점점 더 강해지고 있습니다.
이는 단순히 “무연이고 환경 친화적인” 원칙을...
높은 천장용 공장용 라디에이터
열의 핵심: 출력과 전압
이러한 고성능 공장용 난방기를 어떻게 만들었는지 살펴보겠습니다. 이건 그냥 일반적인 히터가 아닙니다. 오랜 거리에 걸쳐 강력한 열을 공급할 수 있도록 설계된 직접적인 열원입니다.
우리는 2500W, 400V라는 사양을 선택했습니다. 이 사양...
웨이퍼용 고정밀 열처리
팹에서의 포토레지스트 건조 과정은 단순한 가열 과정이 아닙니다. 이는 웨이퍼 하나하나의 수율을 결정하는 중요한 열 처리 공정입니다. 소프트 베이크나 하드 베이크 시 온도가 1°C만 변동해도 CD 값이 변하고, 이물질이 생기며, 입자 수도 변동합니다. 저희는 이러한 변...