실제로 중요한 곳에 더 많은 열을 전달하기
웨이퍼를 가열할 때는 에너지를 낭비하고 싶지 않습니다. 그게 전부입니다. 적외선 에너지가 웨이퍼에만 전달되어야 하며, 기계의 몸체나 주변 공간까지 열이 전달되어 방 전체가 따뜻해지는 것을 막아야 합니다.
대부분의 사람들은 알루미늄을 사용하지만, 알루미늄도 일부 열을 반사합니다. 하지만 단파 및 중파 적외선에 있어서는 금이 최적의 선택입니다. 금의 반사율은 98% 이상입니다.
왜 이것이 중요한가요?
램프는 복잡한 구조를 가지고 있어서, 원치 않는 방향으로도 광선이 방출됩니다. 하지만 금으로 코팅된 반사판은 그러한 에너지를 다시 웨이퍼 쪽으로 보내줍니다.
이건 단순한 ‘효율성 향상’이 아닙니다. 실제로 목표물에 도달하는 에너지의 양이 증가하는 것입니다. 가장 좋은 점은, 램프의 총 출력을 줄여도 웨이퍼의 온도는 그대로 유지될 수 있다는 것입니다.
하지만 한 가지 문제가 있습니다.
이러한 시스템은 작은 공간에 설치되도록 설계되었기 때문에, 열 밀도가 매우 높아집니다. 그로 인해 하우징에 큰 부담이 가중됩니다. 반사된 에너지를 높이려면, 냉각 팬이나 물탱크가 그에 맞춰 작동할 수 있도록 해야 합니다. 만약 램프 주변의 열 축적을 방치한다면, 커넥터가 손상되고 램프도 빨리 고장날 것입니다.
실제 현장에서의 효과
금으로 코팅된 시스템을 사용하면, 가열 시간이 훨씬 줄어듭니다. 정말 빠릅니다.
에너지가 집중되기 때문에, 웨이퍼가 가열 구역에 머무는 시간도 줄어듭니다. 이로 인해 웨이퍼의 가장자리가 과도하게 가열되는 문제도 해결됩니다.
한 가지 팁: 깨끗하게 유지하세요.
이 점을 강조할 수밖에 없습니다. 금 표면에 조금이라도 먼지나 잔여물이 있으면 반사율이 떨어집니다. 그러면 웨이퍼에 과열된 부분이 생기고, 시스템도 제대로 작동하지 않습니다. 꾸준히 청소를 해주면 문제없습니다.