अपने कैबिनेट को गर्म करना बंद करें: वेफरों को गर्म करने का बेहतर तरीका
जब आप वेफरों को गर्म कर रहे होते हैं, तो आप चाहते हैं कि ऊर्जा सीधे वेफर पर ही पड़े। आप नहीं चाहते कि यह ऊर्जा मशीन की दीवारों पर पड़े।
समस्या यह है कि सामान्य आईआर लैंप, ऊर्जा को हर दिशा में, 360 डिग्री में ही फैला देते हैं। ऐसी स्थिति में, चिप बनाने वाले कक्ष में ऊर्जा अनियंत्रित रूप से फैल जाती है, जिससे वेफरों पर असमान तापमान पैदा हो जाता है। इससे वेफरों को नुकसान पहुँच सकता है, या फिर ऑपरेटर को भी चोट लग सकती है।
ऊर्जा को केंद्रित करना
यहीं पर दिशात्मक आईआर लैंपों की भूमिका आती है। साधारण क्वार्ट्ज ट्यूबों का उपयोग करने के बजाय, हम विशेष प्रकार के रिफ्लेक्टरों एवं कोटिंगों का उपयोग करते हैं।
इसे एक टॉर्च की तरह ही समझें… हम आईआर ऊर्जा को आगे की ओर ही भेजते हैं, ताकि वह सीधे वेफर पर ही पड़े। ऐसा करने से, ऊर्जा कमरे की छत एवं दीवारों पर बर्बाद नहीं होती। परिणाम? वेफर ठीक तापमान पर पहुँच जाता है, जबकि मशीन का बाहरी हिस्सा ऐसा ही रहता है जिसे छूने में कोई समस्या नहीं होती।
“गोल्डिलॉक्स” दूरी
लैंप एवं वेफर के बीच की दूरी को सही रखना एक कला है।
यदि लैंप को बहुत नजदीक रखा जाए, तो वेफर पर असमान तापमान पैदा हो जाता है। लेकिन यदि लैंप को बहुत दूर रखा जाए, तो तापमान तेजी से बढ़ने में कठिनाई होती है।
हम आमतौर पर लैंप की शक्ति एवं वांछित तापमान के आधार पर ही इस दूरी का निर्धारण करते हैं। ऐसा करने से ऊर्जा वेफर पर समान रूप से फैल जाती है।
कुछ चुनौतियाँ
यह कोई जादुई उपाय नहीं है… इसमें कुछ चुनौतियाँ भी हैं।
चूँकि ऊर्जा को केंद्रित किया जा रहा है, इसलिए फोकल बिंदु पर ऊर्जा का घनत्व बहुत अधिक होता है। यदि PID कंट्रोलर ठीक से सेट न हो, तो तापमान तय सीमा से आगे चला जाता है।
और एक और महत्वपूर्ण बात… रिफ्लेक्टरों को हमेशा साफ रखें। थोड़ी सी धूल या रासायनिक अवशेष भी ऊर्जा के प्रवाह को बाधित कर सकते हैं… ऐसी स्थिति में फिर से वही समस्या उत्पन्न हो जाती है।