
Obtenir plus de chaleur là où c’est vraiment nécessaire
Lorsque vous cuisez des wafer, vous ne voulez pas gaspiller d’énergie. C’est aussi simple que ça. Vous souhaitez que toute l’énergie infrarouge atteigne le substrat, sans qu’elle se répande dans la structure de la machine et ne réchauffe la pièce.
La plupart des gens commencent par utiliser de l’aluminium, car il reflète bien une partie de la chaleur. Mais si vous voulez un rendement optimal pour les ondes infrarouges de courte et moyenne longueur d’onde, l’or est la meilleure solution. On parle ici de taux de réflexion supérieurs à 98 %.
Voici pourquoi c’est important.
Les lampes émettent de la radiation dans toutes les directions, y compris là où elle n’est pas nécessaire. Un réflecteur en or capture cette énergie et la renvoie directement sur le wafer.
Ce n’est pas juste une amélioration marginale de l’efficacité. En réalité, vous augmentez le nombre de watts par centimètre carré qui atteint le wafer. Le meilleur côté ? Vous pouvez même baisser la puissance totale de la lampe, tout en maintenant la même température sur le wafer.
Mais il y a un hic : ces systèmes doivent être conçus pour tenir dans de petits espaces. Bien que l’intensité de la chaleur soit élevée, cela exerce une grande pression sur la structure du système. Si vous augmentez trop l’intensité du flux réfléchi, vous devez vous assurer que vos ventilateurs ou systèmes de refroidissement peuvent suivre. Sinon, les connecteurs et les lampes risquent d’être endommagés bien plus rapidement que prévu.
Comment ça se passe en pratique
Une fois que vous avez installé un système recouvert d’or, vous remarquerez une différence significative en termes de temps de chauffage. C’est très rapide. Vraiment très rapide.
Comme l’énergie est très concentrée, le wafer passe moins de temps dans la zone de chauffage. Cela résout le problème désagréable où les bords du wafer sont trop cuits, tandis que le centre continue de se chauffer.
Un seul conseil : gardez le système propre. Je ne saurais insister assez là-dessus. Un petit peu de poussière ou de résidus sur la surface en or peut réduire considérablement le taux de réflexion. Soudain, vous avez des points chauds sur les wafer, et le système ne fonctionne plus correctement. Respectez un calendrier de nettoyage strict, et tout ira bien.