שמירה על חדר נקי מסוג Class 100 נקי אמיתית
בעולם ייצור השבבים, גרגיר אבק אחד בלבד – שאי אפשר אפילו לראותו – יכול להרוס כל מחזור של וואפרים. זו קטסטרופה. לכן, כשצריך לחמם את הסביבה בסוג Class 100, אי אפשר פשוט להשתמש ברכיבי חימום רגילים. רכיבים אלו פולטים גזים וחלקיקים בכמויות גדולות.
לכן אנו משתמשים בנורות אינפרא-אדום מסוג קוורץ בעל טוהר גבוה.
למה הקוורץ חשוב?
אנו משתמשים בסיליקה מסונתזת לייצור הנורות האלו. אם נשתמש בזכוכית בורוסיליקט הזולה יותר, נצטרך להתמודד עם בעיות של פליטת גזים מהזכוכית, מה שאומר שהכימיקלים יחדרו לאוויר הנקי.
המעטפת העשויה קוורץ פועלת כאטם טוב, ומונעת מהחוט הטונגסטן והגז ההלוגן לצאת החוצה. היתרון הגדול? החום נמסר ישירות למשטח הרלוונטי. אין מגע פיזי, אין אוויר שעובר בין החלקים, ואין סיכוי שיעלו חלקיקי אבק.
עיצוב לעולם האמיתי
בכלים אלו, המקום תמיד מוגבל, לכן אנו מתמקדים בצפיפות אנרגיה גבוהה. אנו רוצים שהכלים האלו יתחממו מהר.
על ידי שמירה על אנרגיית האינפרא-אדום בטווח גלים קצר, החום פוגע ישירות במשטח. אין צורך לחמם את האוויר בחדר, כך שמערכות הקירור אינן צריכות לעבוד יותר מהנדרש.
אנו משקיעים גם הרבה זמן באטימת החוטים. פער קטן יכול להוות “דלת פתוחה” לחומרים מזהמים. אנו משתמשים בזכוכית מסונתזת כדי שהאטימה תישאר במקומה ולא תישבר כשהטמפרטורה משתנה.
החלקים המאתגרים
קוורץ הוא חומר טוב, אך הוא שביר. הוא יכול לעמוד בחום, אך הוא לא אוהב להיפגע או להירעד.
טיפ: אל תחזקו יותר מדי את החיבורים של הנורה. אם אין מקום לגדילת הצינור כשהוא נחמם, הוא עלול להישבר. צריך להשאיר פער קטן.
ועוד דבר: מכיוון שהנורות האלו חזקות מאוד, הן עלולות לפגוע בשכבות האורגניות שעל הוואפר אם הוואפר נמצא קרוב מדי. כדאי לבדוק שוב את המרחק האופטי בהתאם להספק הנורה, כדי שלא לפגוע במשטח.