गर्म हवा फूँकना क्यों बंद करें? वेफरों को सुखाने का बेहतर तरीका
अगर आपने पुरानी उत्पादन प्रणालियों में काम किया है, तो आपको इस प्रक्रिया के बारे में पता ही होगा। वहाँ विशाल सिस्टम होते हैं, जो वेफरों पर गर्म हवा फूँकते रहते हैं… और पानी के सूखने का इंतज़ार करते रहते हैं। यह तो एक सरल प्रक्रिया है… लेकिन यह बहुत ही धीमी है।
समस्या यह है कि हवा, ऊष्मा को स्थानांतरित करने में असमर्थ है। इसलिए, सतह पर मौजूद पानी को सुखाने हेतु बहुत अधिक ऊर्जा की आवश्यकता होती है… ऐसा लगता है, जैसे पूरे रसोईघर को गर्म करके ही एक प्लेट को सुखाने की कोशिश की जा रही हो।
मध्यवर्ती चरणों को हटाना
यहीं पर इन्फ्रारेड (IR) की भूमिका आती है। हवा को गर्म करके उसे वेफर तक पहुँचाने के बजाय, IR सीधे ही पानी के अणुओं पर प्रभाव डालता है। हम छोटी-तरंगदैर्घ्य वाले इन्फ्रारेड लैंपों का उपयोग करते हैं… जिससे पानी तुरंत ही वाष्पित हो जाता है। ऐसे में सूखने की प्रक्रिया मिनटों से घटकर सेकंडों में ही हो जाती है। यह तो पूरी प्रक्रिया की गति को ही बदल देता है।
इसके अलावा, आपको “मृत क्षेत्रों” या असामान्य हवा-प्रवाह की समस्याओं की चिंता करने की आवश्यकता नहीं है… क्योंकि IR, पूरे सतह पर समान रूप से ऊष्मा प्रदान करता है। और चूँकि हवा का उपयोग नहीं किया जाता, इसलिए धूल एवं कण वेफर पर नहीं गिरते।
अधिक गति, कम झंझट
IR का उपयोग करने से न केवल समय बचता है, बल्कि जगह भी बचती है।
फोर्स्ड-एयर सिस्टम बहुत ही जगह लेते हैं… इनके लिए बड़े ब्लोअर, लंबे डक्ट, एवं भारी हीट एक्सचेंजरों की आवश्यकता होती है। वहीं, IR सिस्टम बहुत ही कॉम्पैक्ट है… यह एक छोटा ही मॉड्यूल है, जिसे आसानी से ही उपलब्ध जगह में रखा जा सकता है।
आपका बिजली बिल भी कम हो जाएगा… क्योंकि लैंप केवल तभी ही ऊर्जा खपत करते हैं, जब वे वास्तव में सूखाने का काम कर रहे होते हैं। आपको 24/7 गर्म हवा बनाए रखने हेतु पैसे खर्च करने की आवश्यकता नहीं है।
ध्यान रखने योग्य बातें: ऊष्मा का ध्यान रखें
ईमानदारी से कहूँ तो, IR बहुत ही शक्तिशाली है… अगर आपका समय-नियंत्रण सही न हो, या दूरी थोड़ी ज्यादा हो, तो वेफर या फोटोरेजिस्ट नष्ट हो सकते हैं। यह कोई ऐसा उपकरण नहीं है, जिसे बस “सेट करके भूल जाया जा सके”… इसके लिए सटीक PID नियंत्रण एवं त्वरित शटर आवश्यक हैं।
आपको ठंडक देने के लिए भी सावधान रहना होगा… अगर आप वेफर तक न पहुँचने वाली ऊष्मा का ध्यान न रखें, तो आपके सेंसर भी नष्ट हो सकते हैं। इसके लिए थोड़ी अधिक सावधानी आवश्यक है… लेकिन इसका फायदा तो निश्चित ही है।