
将热量精准地传递到需要的地方
在处理晶圆时,我们当然不想浪费能量。简单来说,就是希望所有的红外能量都能照射到晶圆上,而不是散失到机器的机身中,从而导致整个房间温度上升。
大多数人最初会选择铝制反射器,因为铝确实具有反射热量的功能。不过,如果想要更高效的短波及中波红外光反射效果,那么金才是最佳选择。其反射率可达到98%以上。
为什么这很重要呢?
普通灯具的辐射方向是随机的,包括那些不需要加热的区域。而镀金反射器则能将那些被反射回去的能量重新导向晶圆上。这不仅仅是所谓的“效率提升”,实际上,它意味着每平方厘米的晶圆所接收到的能量增加了。最棒的是,即使降低灯具的总功率,仍能使晶圆保持恒定的温度。
不过,这也存在一些问题。这类装置设计时考虑的是在狭小空间中使用,虽然热量密度很高,但这对设备的结构来说是一个很大的考验。如果反射强度过高,那么冷却风扇或水冷系统就必须能够跟上节奏。否则,连接部件很快就会损坏,灯具也会过早失效。
在实际应用中的表现
一旦安装了镀金反射器,你就会发现加热速度有了显著提升。因为能量被集中起来,晶圆在加热区内的停留时间就缩短了。这样一来,就不会出现晶圆边缘过度加热而中心部分仍未完全加热的情况。
最后一点建议:保持表面清洁。这一点非常重要。哪怕是微小的灰尘或金属表面的残留物,都会降低反射率。那样一来,晶圆上就会出现热点,整个系统也无法正常工作。因此,一定要定期清洁设备,这样才能保证其正常运行。